S5U-PH激光干涉儀
S5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準確測量。
一、儀器規(guī)格參數(shù)
S5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準確測量。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
|
產品型號
|
S5U-PH
|
|
產品名稱
|
5mm正立式激光干涉儀
|
|
測試口徑
|
Φ5mm
|
|
輔助對準口徑
|
Φ30mm
|
|
標準鏡面形精度
|
λ/20
|
|
光源
|
進口半導體激光器（635nm)
|
|
光路切換
|
輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換
|
|
電源
|
AC220V50HZ
|
軟件部分：
|
軟件名稱
|
移相算法（簡稱PH）
|
|
分析項目
|
透過波前PV值、平行度Tilt值等
|
|
測試重復性
|
PV：0.01λ RMS:0.003λ
|
|
測試允許誤差
|
PV<1λ時 PV：0.05λ Tilt：0.25fr（零場調整為1根條紋）
1λ<PV<2λ時 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調整為1根條紋）
|
|
測試時間
|
1.5秒
|
注：聯(lián)系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！
