SJ6000激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測量，并進(jìn)行動態(tài)分析。 

SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)：

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)�式操作，流程清晰，更符合國�?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價比高

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。

SJ6000激光干涉儀功能：

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測量，并能對設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態(tài)性能分析。

在相關(guān)軟件的配合下，可自動生成誤差補(bǔ)償方案，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

      系統(tǒng)性能

²    測量方式：單頻

²    穩(wěn)頻精度：0.05ppm

²    動態(tài)采集頻率：50 kHz

²    預(yù)熱時間：約6分鐘

²    工作溫度范圍：(0~40)℃

²    環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH

²    存儲溫度范圍：(-20~70)℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測量

²    測量距離：(0~40)m

²    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力：1nm

²    測量最大速度：4m/s

      角度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±10°

²    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測量分辨力：0.1″

      平面度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±1.5 mm

²    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測量分辨力：0.1μm

      直線度測量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

²    軸向量程：(0.1~3.0)m

測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm/m

      回轉(zhuǎn)軸精度測量

²    角度測量范圍：(0~360)°

²    測量精度：±1″

最高轉(zhuǎn)速：10rpm

鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)。

 SJ6000激光干涉儀配置清單：

注：聯(lián)系我時，請說是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的，謝謝！