激光干涉儀是激光在計量領域中最成功的應用之一，利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，在不同領域都有極為廣泛的應用，如利用F-P干涉儀和半導體激光二極管測量大型精密離心靜態臂長；利用電子散斑干涉技術實現物體表面微小形變的非接觸式測量、李永干涉合成孔徑雷達實現對地表變形進行測量；利用相干梯度敏感干涉測量技術對靜態斷裂現象的測量；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期性強度分布，從而被用來制作二維或三維光子晶體；利用全息干涉技術可用于位移及形變測量、應變與應力分析、缺陷或損傷探測、振動模式可視化及測量、晶體和蛋白質生長過程監測、流體中密度場和熱對流場的觀察與測量、以及光學材料與器件的參數測量等。
本文簡要介紹一下激光干涉儀在如下幾個領域的應用情況。
1. 位移傳感器
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發展趨勢，其特點是測量精度快、反應速度快、易于數字化測量。在測量中設計一個精密導軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統與HP干涉儀對定位移進行測試對比，得出往復測試實驗結果。
隨著數控機床應用的普及，采用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測已經成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻激光干涉儀應用最多。與傳統的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數據，為機床誤差修正提供依據，位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。
注：聯系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！
