國產優質SJ6000激光干涉儀
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- 更新時間:2023年03月28日
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SJ6000激光干涉儀采用美國進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術,實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出;采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量;結合相應鏡組還能實現角度、直線度(平行度)、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量,并進行動態分析。SJ6000激光干涉儀性能特點:1.測量精度高、速度快,穩定性好①使用美國高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級③使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s。④配合有環境補償單元,在環境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變2.應用范圍廣①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測②結合我們的軟件系統。
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